Tao anatin'ny taona vitsivitsy izay, ny teknolojia sensor an'ny fireneko dia mivoatra haingana, ary miitatra ihany koa ny sehatry ny fampiharana azy. Raha ny karazana teknolojia refy maoderina, teknolojia vaovao, ny fitaovana vaovao ary ny dingana vaovao ary ny fizotrany vaovao dia mipoitra tsy tapaka amin'ny sehatry ny tsindry.
Ny sensor tsindry dia fitaovana ampiasaina hamantarana ireo marika fanerena ary hampivadika azy ireo ao anaty marika elektrika araka ny fitsipika sasany. Ampiasaina amin'ny famokarana isan-karazany, indostrialy sy aerospace ary ny fandrefesana ny fiakaran'ny mari-pana sy ny habakabaka ary ny akanin'ny masinina isan-karazany dia mihoatra ny mari-pana-kery tsy manam-paharoa ary ny mari-pana amin'ny sivana silika dia ambany noho ny 120 ° C). ° C) tsy hahomby, ary hiafara amin'ny tsy fahombiazan'ny fanerena. Noho izany, ny sensor ny mari-pana avo lenta dia lasa tari-dàlana tena lehibe.
Ny fanasokajiana ny sensoretan'ny tsindry avo lenta
Araka ny ampiasain'ireo fitaovana samy hafa, ny sensor chetized dia azo zaraina ho polysilicon (poly-si), sensorce storope (silika), SOI (SURICON BIREME Soi avo lenta ny tsindry amin'ny mari-pana ambany indrindra. Ity manaraka ity indrindra dia mampiditra ny sensor ny mari-pana ambony SOI.
Soi ny mari-pana avo lenta
Ny fampandrosoana ny sangan-dranomaso SOI avo indrindra dia miankina amin'ny fiakaran'ny Insulator, izay manome ny soso-kevitra semiconductor dia misy ny sôkôlà amin'ny SIEM Ny fahatokisan'ny fitaovana fitaovana, noho ny toetran'ny mari-pana avo lenta amin'ny sosona fitaovana Soi, dia lasa fitaovana mety amin'ny fanomanana ireo sensorce avo lenta.
Amin'izao fotoana izao, ny sangan-kira avo lenta dia efa nivoatra am-pahombiazana tany ivelany, ary ny mari-pana miasa dia -55 ~ 480 ° C; ny -55 ~ 500 ° the SOI high-temperature pressure sensor developed by the French LETI Institute also has a working temperature of more than 400°C.Domestic research institutions are also actively carrying out research on SOI high-temperature pressure sensors, such as Xi'an Jiaotong University, Tianjin University, and Peking University. Ankoatr'izay, ny fatran'ny fikarohana momba ny fikarohana ara-teknolojia mandroso ao Fatri dia manatanteraka asa fikarohana mifandraika ihany koa, ary ny tetikasa ankehitriny dia niditra tao amin'ny sehatra fihetsiketsehana.
Fitsipika momba ny Soi High Stowe Sture Stars Stars
Ao amin'ny fotokevitra, ny sensor ny mari-pana avo lenta amin'ny SOI dia mampiasa ny vokatry ny Silicon Crystal Crystal.Retin'ny Crystal Crystal, izay mitarika amin'ny fanoherana ny Crystal Crystal.Four dia miovaova amin'ny lalana manokana ao amin'ny Soi Top Layer mba hamolavolana Wheatsone Bridge araka ny asehon'ny sary 2 (a); Ny kitay fanerena dia natao tamin'ny soso-kevitra substrate soi mba hamorona rafitra saro-pady.
Sary 2 (a) Wheatone Bridge
Rehefa iharan'ny fanerena an-habakabaka ny rafitry ny tsindry, izay manohitra ny fiovan'ny Memezoresistor, izay mahatonga ny voky ny volavolan-dalàna momba ny famoahana azy, ary ny lanjan'ny tsindry dia azo refesina amin'ny alàlan'ny fifandraisana amin'ny sandan'ny famoahana sy ny sandan'ny fanoherana ny phezoresistor.
Ny fizotry ny lamba amin'ny sensor ny mari-pana amin'ny mari-pana
Ny fizotry ny fanomanana ny mari-pana avo lenta SOI avo lenta dia misy dingana mems marobe. Ny dingana iray lehibe dia ampidirina vetivety mba hahatakarana ny fizotran'ny sensor, ny fisian'ny filozorandrista, ny metezorionistor
Ny lakilen'ny fanomanana ny varantika dia mitoetra ao anatin'ny fifehezana ny fifantohana doping sy ny fanamafisana ny fizotry ny famolavolana eo an-toerana; Ny sosona metaly dia miasa amin'ny fifandraisana amin'ny tetezana Wheatone; Ny fanomanana ny sarimihetsika saro-pantarina dia miankina amin'ny dingana silicon lalina ao anaty silicon; Ny fonosana ny lavaka dia mazàna dia miovaova arakaraka ny fampiharana ny sensor tsindry,
Koa satria ny sensoram-pitondran-tena amin'ny mari-pana avo lenta dia tsy afaka mahafeno ny fepetra takian'ny fanerena manokana toy ny lavaka fantsom-pifandraisana sy ny milina mari-pana amin'ny mari-pana sy ny mari-pana amin'ny hafanana ary ny fitaovana avo lenta, ny fitaovana soi dia nanjary fitaovana ilaina amin'ny tsindry avo lenta. Ny fikarohana amin'ny ho avy amin'ny Soi High-Stowe Sensor dia tokony hifantoka amin'ny famahana ny fitoniana maharitra sy ny olana manofa-tena maharitra amin'ny tontolo iainana avo sy fanatsarana ny sensors. lafiny.
Mazava ho azy fa ny fahatongavan'ny vanim-potoanan'ny manan-tsaina ihany koa dia mila sensorolojia avo lenta amin'ny haingam-pandeha amin'ny mari-pankasitrahana hafa mba hitondrana asa manan-tsaina kokoa, ary ny fitehirizana ny tena, mba hanamafisana ny iraka amin'ny alàlan'ny fanerena ny tontolo iainana be dia be. .
Paositra: Feb-13-2023